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    中文版 / ENGLISH
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      2019年

    • 201912

      泛半导体应用TFLITE研制成功
    • 201912

      获评国家知识产权示范企业
    • 201912

      完成第四轮融资
    • 20199

      SACVD研制成功并出厂到客户端

      2018年

    • 201812

      首台14nm硬掩膜 ACHM 机台出厂到客户端
    • 201810

      12英寸ALD通过客户端14nm工艺验证

      2017年

    • 201712

      首台量产型3D NAND PECVD 出厂到客户端
    • 201710

      PF-300T在中芯国际生产线量产流片突破一百万片
    • 20179

      SAP系统上线
    • 20178

      完成第三轮融资

      2016年

    • 201612

      拓荆新厂投入使用
    • 20164

      十一五重大专项通过国家验收
    • 20163

      首台12英寸ALD出厂到客户端

      2015年

    • 201512

      获批国家十三五科技重大专项
    • 20159

      完成第二轮增资,获国家集成电路产业投资基金战略投资
    • 20153

      PF-300T在中芯国际生产线突破一万片

      2014年

    • 201412

      获批辽宁省薄膜装备工程研究中心
    • 20148

      中芯国际首台量产机台PF-300T的设备订单
    • 20145

      完成公司首轮增资

      2013年

    • 201312

      PF-300T通过中芯国际产品线测试
    • 20135

      首台12寸PF-300销售

      2012年

    • 201212

      推出12英寸多反应腔PF-300T设备

      2011年

    • 201110

      首台12英寸PECVD出厂到中芯国际验证
      成功研制2-12英寸单腔SC-300设备

      2010年

    • 201010

      12英寸PECVD样机1装调完成
    • 20104

      沈阳拓荆科技有限公司成立

      2009年

    • 20099

      12英寸PECVD设计工作启动

      2008年

    • 200812

      获批国家十一五科技重大专项
    • 20084

      首台CC1-150销售

      2007年

    • 20076

      首台CC1-150装调完成

      2006年

    • 20067

      PECVD事业部成立于中科院沈阳科仪

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    2019年
    • 12

      2019
      泛半导体应用TFLITE研制成功
    • 12

      2019
      获评国家知识产权示范企业
    • 12

      2019
      完成第四轮融资
    • 9

      2019
      SACVD研制成功并出厂到客户端
    2018年
    • 12

      2018
      首台14nm硬掩膜 ACHM 机台出厂到客户端
    • 10

      2018
      12英寸ALD通过客户端14nm工艺验证
    2017年
    • 12

      2017
      首台量产型3D NAND PECVD 出厂到客户端
    • 10

      2017
      PF-300T在中芯国际生产线量产流片突破一百万片
    • 9

      2017
      SAP系统上线
    • 8

      2017
      完成第三轮融资
    2016年
    • 12

      2016
      拓荆新厂投入使用
    • 4

      2016
      十一五重大专项通过国家验收
    • 3

      2016
      首台12英寸ALD出厂到客户端
    2015年
    • 12

      2015
      获批国家十三五科技重大专项
    • 9

      2015
      完成第二轮增资,获国家集成电路产业投资基金战略投资
    • 3

      2015
      PF-300T在中芯国际生产线突破一万片
    2014年
    • 12

      2014
      获批辽宁省薄膜装备工程研究中心
    • 8

      2014
      中芯国际首台量产机台PF-300T的设备订单
    • 5

      2014
      完成公司首轮增资
    2013年
    • 12

      2013
      PF-300T通过中芯国际产品线测试
    • 5

      2013
      首台12寸PF-300销售
    2012年
    • 12

      2012
      推出12英寸多反应腔PF-300T设备
    2011年
    • 10

      2011
      首台12英寸PECVD出厂到中芯国际验证
      成功研制2-12英寸单腔SC-300设备
    2010年
    • 10

      2010
      12英寸PECVD样机1装调完成
    • 4

      2010
      沈阳拓荆科技有限公司成立
    2009年
    • 9

      2009
      12英寸PECVD设计工作启动
    2008年
    • 12

      2008
      获批国家十一五科技重大专项
    • 4

      2008
      首台CC1-150销售
    2007年
    • 6

      2007
      首台CC1-150装调完成
    2006年
    • 7

      2006
      PECVD事业部成立于中科院沈阳科仪

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